半導體廢氣處理


【半導體廢氣介紹】:隨著信息化時代的到來,半導體行業也在迅速發展,半導體廠給社會帶來的經濟效益及就業率有目共睹的,但隨之而來的還有對大氣的污染。由于半導體行業對操作室清潔度要求極高,通常使用風機抽取工藝過程中揮發的各類廢氣,因此半導體行業廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。

【半導體廢氣成分】:半導體行業廢氣主要為有機廢氣和酸堿廢氣兩類。有機類有:非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等;酸堿類有:氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。

【半導體廢氣危害】:半導體行業主要是元器件組裝焊接過程中對大氣的污染和電路板等器件清洗等表面處理過程中因使用一些化學藥劑(如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機鹵化物)揮發造成對大氣環境的污染,以及整機裝配過程中產生的機械噪聲和少量粉塵也會造成環境污染,這些污染氣體會造成人群慢性或急性中毒。

半導體廢氣處理設備/裝置

半導體廢氣處理解決方案/方法

半導體行業廢氣處理,按照其廢氣處理工藝分為:酸性廢氣處理(SEX)、堿性廢氣處理(AEX)、有機廢氣處理(VEX)和一般排氣(GEX)等;其廢氣處理系統包括:酸性廢氣處理設備、堿性廢氣處理設備、有機廢氣處理設備等;酸、堿廢氣處理設備有:洗滌塔,又名噴淋塔、吸收塔;有機廢氣處理設備有:活性炭吸附裝置、直燃式熱氧化廢氣焚燒爐(TO)等。

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半導體廢氣治理公司/廠家

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廢氣處理公司

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